一種卷繞式鍍膜設(shè)備用隔離閥

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120881968.5 申請日 -
公開（公告）號 CN215925065U 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN215925065U 申請公布日 2022-03-01
分類號 C23C14/56（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 佘自力 申請（專利權(quán)）人 深圳市新邦薄膜科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市國亨知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李夏宏
地址 518000廣東省深圳市光明區(qū)馬田街道馬山頭社區(qū)鐘表基地森豐大廈501
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種卷繞式鍍膜設(shè)備用隔離閥，屬于鍍膜設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，本實用新型包括下閘板，固定安裝在真空腔室內(nèi)部，用于承載鍍膜，包括上閘板，轉(zhuǎn)動連接在所述下閘板上，用于活動封閉與所述下閘板之間的間隙，包括橡膠膜組件，布設(shè)在所述下閘板和所述上閘板之間，用于氣體的密封，還包括驅(qū)動組件，與所述上閘板活動相連，用于驅(qū)動上閘板的轉(zhuǎn)動。本實用新型利用啟閉氣動閥上下移動實現(xiàn)狹縫式閥門的開閉，以實現(xiàn)閉合后將薄膜夾在閥體中間，并實現(xiàn)對大氣的良好密封。